|
Группа решений предназначена для автоматизированного анализа изображений
наноструктуры полупроводниковых
материалов, полученных методами ПЭМ, РЭМ и АСМ микроскопии.
Анализ производится по произвольному числу полей зрения с накоплением и
статистической обработкой результатов.
Пользователь имеет возможность производить настройку параметров обработки
изображения на каждом этапе обработки, а также проводить коррекцию выделенных и
классифицированных объектов.
После выполнения методики автоматически генерируется отчёт в формате MS Word, который включает в себя результаты анализа (таблицы, графики и примеры
изображений микроструктуры). Форма отчёта может быть изменена в соответствии с
запросами пользователя.
Анализ регулярной структуры
Объект исследования
Анализ проводится по изображению, полученному методом просвечивающей
электронной микроскопии (ПЭМ).
Измеряемые параметры
 | Угол наклона главной оси к горизонтали | |
| Число колонок | |
| Число столбцов | |
| Расстояние между осями | |
| Расстояние между соседними объектами на одной оси | |
| Отклонение центра объекта от оси | |
| Размер объекта вдоль главной оси | |
| Размер объекта поперёк главной оси | |
| Площадь обекта | |
| Диаметр эквивалентной окружности | |
| Расстояние от объекта до межрядовой линии |
Для каждого параметра определяется среднее значение, медиана, СКО,
гистограмма распределения
(кроме первых трёх параметров)
Пример анализа
 |
 |
 | | Исходное изображение | Выделенные объекты | Гистограмма распределения расстояний между
объектами |
наверх
Анализ шероховатости линий
Объект исследования
Анализ проводится по изображению, полученному методом просвечивающей
электронной микроскопии (ПЭМ).
Измеряемые параметры
|
| Шероховатость линий по ширине (LWR) | |
| Шероховатость границ линий (LER) |
Для каждого типа шероховатости определяется: |
| Средняя шероховатость | |
| Среднеквадратичная шероховатость | |
| Шероховатость пиков | |
| Шероховатость впадин | |
| Общая шероховатость | |
| Ассиметрия | |
| Эксцесс |
Дла каждого параметра определяется среднее, минимальное, максимальное значение, СКО, медиана, размах.
Пример анализа
 |
 | | Исходное изображение |
Секущие линии |
наверх
Анализ ширины линий
Объект исследования
Анализ проводится по изображению, полученному методом просвечивающей
электронной микроскопии (ПЭМ).
Измеряемые параметры
|
| Максимальная ширина | |
| Минимальная ширина | |
| Средняя ширина | |
| Медианное значение ширины | |
| СКО значений ширины | |
| Гистограмма распределения ширины |
Пример анализа
 |
 |
 | | Исходное изображение | Измерение ширины | Гистограмма распределения ширины линии 1 |
наверх
>
Анализ формы зубцов
Объект исследования
Анализ проводится по изображению, полученному методом просвечивающей
электронной микроскопии (ПЭМ).
Измеряемые параметры
|
| Количество зубцов | |
| Для каждого зубца определяется
- высота
- ширина сверху
- ширина снизу
- минимальная ширина
- максимальная ширина |
Пример анализа
 |
 |
| № | Высота | Ширина сверху | Ширина снизу | Ширина макс. | Ширина мин. | | 1 | 804 | 36,9 | 68,6 | 26,4 | 68,6 | | 2 | 806,2 | 37,2 | 69,2 | 28,6 | 69,2 | | 3 | 801,8 | 43,2 | 74,2 | 33 | 74,2 | | 4 | 801,8 | 34,5 | 68,4 | 26,4 | 68,4 | | 5 | 808,4 | 35 | 70 | 28,6 | 70 |
| | Исходное изображение | Процедура измерения | Таблица результатов анализа |
наверх
|
